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基于光学相干层析的全深式曲面轮廓测量装置及控制方法

691   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:31
本发明涉及一种基于光学相干层析的全深式曲面轮廓测量装置，包括：SLD光源、凸透镜、第一柱透镜、第一分光镜、参考镜、待测曲面轮廓件、第二柱透镜、反射镜、反射式光栅、柱透镜和面阵CCD相机；所述SLD光源发出的点光源经过凸透镜准直为平行光束；该平行光束通过第一柱透镜聚焦为焦线光束，第一分光镜将焦线光束分为强度相等的两束光线，一束为参考光汇聚于参考镜，一束为探测光汇聚于待测曲面轮廓件；两束光线经反射后重合发生干涉，干涉光束经反射式光栅按波长在空间分光后由柱透镜汇聚成干涉谱线，由面CCD相机采集获得二维干涉光谱条纹。本发明可以实现对曲面轮廓的高精度、非接触、无损伤的精密检测。
声明：
“基于光学相干层析的全深式曲面轮廓测量装置及控制方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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