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同步辐射用单色器热畸变在线探测装置

892   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:31
一种同步辐射用单色器热畸变在线探测装置,其特征在于它的结构是:在激光光源输出光束的前进方向依次设扩束望远镜和第一分束器,该第一分束器的透射光束A与待测的硅单晶单色器成一夹角,其反射光束经第二全反射镜反射而入射到第二分束器再反射进入探测器,该第一分束器的反射光束B经第一反射镜的反射入射到第二分束器,其透射光束B与光束A叠加形成干涉光束,探测器的记录界面垂直于该干涉光束,探测器的信号线接计算机。本发明具有高分辨、无损伤、无接触、在线检测的优点,分辨能力达到λ/20。
声明：
“同步辐射用单色器热畸变在线探测装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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