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基于马赫曾德光路的多方向剪切散斑干涉系统及测量方法

789   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:31
本发明公开了一种基于马赫曾德光路的多方向剪切散斑干涉测量系统及测量方法，其特征是：激光器的出射光经扩束后照射测量面；测量面漫反射的光经两块分光棱镜后分成三束光；三束光分别通过反射镜、光阑、成像透镜和分光棱镜后同时成像到CCD相机上；本发明载波频率和剪切量独立可调，能够实现对被测物的缺陷进行多方向同步检测，是一种无损、全场、高效的测量系统。
声明：
“基于马赫曾德光路的多方向剪切散斑干涉系统及测量方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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