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基于空间载波的双方向剪切散斑干涉系统及测量方法

1155   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:31
本发明公开了一种基于空间载波的双方向剪切散斑干涉系统及测量方法，其特征是：不同波长的第一光源和第二光源的出射光经扩束后同时照射测量面；测量面漫反射的光经成像透镜、光阑、4f系统和分光棱镜后分成两束光；两束光通过滤波片成为两个单一波长的光束，分别经过两个迈克尔逊剪切装置在不同方向上引入剪切量；两不同剪切方向的光经分光棱镜照射CCD靶面上。本发明可对被测物的缺陷进行双方向同步检测，是一种无损、全场、高效的测量方法。
声明：
“基于空间载波的双方向剪切散斑干涉系统及测量方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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