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采用可移动双探头压电传感器测量薄膜粘附性的方法

867   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:31
本发明涉及采用可移动双探头压电传感器测量薄膜粘附性的方法，由多个声表面波叉指换能器构成可生成不同频率声表面波的声表面波叉指换能器组，一个声表面波叉指换能器包括一个叉指电极，用以在待测样片上产生单频声表面波；压电传感器用以在待测样片上拾取声表面波的信号，通过对采集到的信号进行处理，从而获得相应频率下声表面波的波速，更换可产生不同频率的声表面波叉指换能器，即可获得该待测样片的声表面波频散曲线，通过将实验频散曲线和理论频散曲线进行匹配即可完成对薄膜特性的无损检测。
声明：
“采用可移动双探头压电传感器测量薄膜粘附性的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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