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用于纳米材料成像的表面形貌测量系统

614   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:31
本发明公开一种用于纳米材料成像的表面形貌测量系统。SPR传感器跟随扫描平台在控制器的控制下对待测材料进行逐步扫描，金属薄膜与待测材料之间的空气层被视作SPR传感器耦合结构的一部分，待测材料的表面形貌对表面等离子体共振现象产生影响，由SPR传感器将每一步的反射图谱传送给上位机，上位机将反射图谱中的表面等离子共振信号提取出来，通过数据分析完成对待测材料的表面形貌重构。该表面形貌测系统能够实现对样品的高精度、高分辨率的非接触无损检测。
声明：
“用于纳米材料成像的表面形貌测量系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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