合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 无损检测技术

> 非接触式测量硅晶圆电阻率的光学方法

非接触式测量硅晶圆电阻率的光学方法

836   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:31
本发明公开了一种非接触式测量硅晶圆电阻率的光学方法，运用强度周期性调制的、光子能量大于硅禁带宽度的激光经准直、扩束后激励硅晶圆，在其中产生浓度周期性变化的自由电子/空穴对；自由电子/空穴对通过辐射复合所发出的近红外荧光信号由一组离轴抛物面镜收集后由近红外光电探测器记录，并由锁相放大器解调、获得荧光信号的幅度与相位；连续地改变平均激励光强可以得到一组强度扫描的荧光信号，激励光强的相对改变由另一个光电探测器实时记录；通过分析强度扫描数据可以求出硅晶圆的平衡多数载流子浓度，进而得到其电阻率。本方法可以非接触地测量硅晶圆电阻率，为半导体制造业的晶圆在线监测/检测提供一种全光学的、无损、定量的表征方法。
声明：
“非接触式测量硅晶圆电阻率的光学方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
无损检测
上一个：轮毂轴承单元电阻模型测量滚道预紧的方法
下一个：磁记忆信号收集装置及应力实时监测系统

与 “非接触式测量硅晶圆电阻率的光学方法” 相关技术

▪ TC4，TC16钛合金紧固件用棒丝材
▪ 集成式重介质选矿机组
▪ 利用低品位磷矿生产土壤调理剂/重金属钝化剂技术
▪ 棕刚玉定向破碎自动化生产线
▪ 智能型火试金灰吹炉
▪ 砷锑金矿矿浆电解
▪ 氧化镍矿金属化还原-磁选镍铁新技术
▪ 废气处理用的活性炭吸附一体机
▪ 破碎机或粉磨机用锤头或辊套、柱碎机及柱磨机
▪ 基于稀疏贝叶斯学习与功率谱分离的风机叶片故障检测方法

相关无损检测设备推荐

洛氏硬度计
土壤测试仪
WDW-200/300型微机控制电子式万能试验机
低能量X射线异物检测机
便携式土壤重金属检测仪
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪TC4，TC16钛合金紧固件用棒丝材
▪集成式重介质选矿机组
▪利用低品位磷矿生产土壤调理剂/重金属钝化剂技术
▪棕刚玉定向破碎自动化生产线
▪智能型火试金灰吹炉
▪砷锑金矿矿浆电解
▪氧化镍矿金属化还原-磁选镍铁新技术
▪废气处理用的活性炭吸附一体机
▪破碎机或粉磨机用锤头或辊套、柱碎机及柱磨机
▪基于稀疏贝叶斯学习与功率谱分离的风机叶片故障检测方法

报名参会
更多+

第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
2024年07月26日 ~ 28日
2024高分子材料合成与表征技术研讨会
2024高分子材料合成与表征技术研讨会
2024年08月01日 ~ 03日
2024先进陶瓷材料制备加工与应用交流会
2024先进陶瓷材料制备加工与应用交流会
2024年08月08日 ~ 10日
2024再生铝产业技术进步与减污降碳创新研讨会
2024再生铝产业技术进步与减污降碳创新研讨会
2024年08月13日 ~ 15日
2024钠电产业技术创新与应用高峰论坛
2024钠电产业技术创新与应用高峰论坛
2024年08月16日 ~ 18日

报告下载

1 实验室管理与实践
下载:52
2 化学实验室暖通系统设计新趋势
下载:50
3 矿产品样品制备要点与难点分析
下载:44
4 质检部门风险防控管理的探讨 （矿
下载:41
5 ICP-MS/MS测定有色金属中
下载:37
6 电位滴定法在北矿检测实验室的应
下载:33
7 浅谈检验检测风险防控管理及要点
下载:32
8 电位滴定仪在有色金属分析的应用
下载:32
9 国家标准《铜精矿及主要含铜物料
下载:32
10 全面禁止洋垃圾入境形势下的固废
下载:32
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
推广

热门技术
更多+

1压力平衡机构
2水电站的尾水预埋件
3防爆阀保护膜
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记