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氮氧传感器陶瓷芯片气敏性的测试方法及装置

665   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:29
一种氮氧传感器陶瓷芯片气敏性的测试方法及装置，依次检测氮氧传感器陶瓷芯片主泵、辅助泵、测量泵的气敏性，根据检测对象，配置出相应浓度的氧气；将氮氧传感器陶瓷芯片加热到合适的工作温度，再向待测氮氧传感器陶瓷芯片主泵或辅助泵或测量泵的氧泵加载渐变的电压，测试该氧泵电流和氧浓差电势；根据氧泵电压和氧泵电流以及氧浓差电势，判断氮氧传感器陶瓷芯片主泵或辅助泵或测量泵氧泵的泵氧能力和反应空腔氧气浓度的能力。本发明具有工作效率高、节省人力、对待测芯片无损伤的优点。
声明：
“氮氧传感器陶瓷芯片气敏性的测试方法及装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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