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可调谐波长干涉三维形貌测量装置

815   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:28
本实用新型为一种可调谐波长干涉三维形貌测量装置，属于光学精密检测技术领域。测量装置由可调谐激光器、第一分光装置、反射镜、第一扩束系统、第二扩束系统、相移装置、第二分光装置、相机组成，通过激光调谐、光场解算等技术，实现物体表面三维形貌测量。本实用新型测量装置具有对被测表面粗糙度的适应范围宽、量程适配性强、非接触、高精度等特点，能够实现对待测件的无损检测，可广泛应用于半导体、光学、航空航天等高精密检测领域。
声明：
“可调谐波长干涉三维形貌测量装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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