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纳米薄膜静电疲劳测试方法

861   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:28
本申请涉及一种纳米薄膜静电疲劳测试方法,属于纳米薄膜静电测试方法技术领域。纳米薄膜静电疲劳测试方法包括提供纳米薄膜;提供电极板;提供位移传感器;提供直流电压源;提供绝缘支撑件,绝缘支撑件具有检测通孔;将绝缘支撑件支撑于纳米薄膜和电极板之间,使电极板位于检测通孔的下方,纳米薄膜覆盖于检测通孔的上方且与电极板平行设置,将直流电压源的正极与纳米薄膜电连接,将直流电压源的负极与电极板电连接;启动直流电压源,通过位移传感器测量纳米薄膜向检测通孔内凹陷的位移量。该纳米膜静电疲劳测试方法,易操作、对纳米薄膜无损伤,且适用于现场实测。
声明:
“纳米薄膜静电疲劳测试方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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