微波共面波导测试夹具,涉及一种元器件检测装置,提供一种适用性广、无损伤、操作方便、重复性好、价格低的微波共面波导测试夹具。设有微波共面波导、样品定位片、检测探针架和SMA接头,共面波导设有波导底座和高频印刷电路板,电路板固定在波导底座上,电路板上设短路开路校准、匹配校准、并联检测和串联检测4路通道;样品定位片设于并联或串联检测通道上,样品定位片上设有样品槽;检测探针架设有可调支架、探针、探针座、弹簧和闭合板,支架底端接并联或串联检测通道上,探针穿过探针座中心通孔,弹簧套于通孔内,闭合板设于探针座顶部;SMA接头设于波导底座两侧,其内导体与共面波导内导体连接,外导体与微波共面波导外导体连接。
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