合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 无损检测技术

> 基于红外白光干涉技术的微结构形貌测试方法

基于红外白光干涉技术的微结构形貌测试方法

677   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:27
本发明涉及微机电MEMS器件的微形貌测试,具体是一种基于红外白光干涉技术的微结构形貌测试方法,解决了现有测试技术无法对MEMS器件中深沟槽结构侧壁形貌进行测量的问题,以下列步骤实现:1)在待测侧壁表面进行阻止红外线透射的无损处理;2)以红外光源作为测量光源,红外光经透镜组调整为平行光束,经分光器件分成参考光束、检测光束,检测光束透射深沟槽结构的侧壁,经侧壁与无损处理的交界面反射后,与经参考镜面反射的参考光束相干迭加,形成干涉条纹图样;3)干涉条纹图样经光学透镜、CCD图像传感器传输至计算机,分析处理得所测侧壁的三维形貌图。本发明突破了现有测量技术无法实现深沟槽结构测量的缺点,应用领域广。
声明：
“基于红外白光干涉技术的微结构形貌测试方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
无损检测
上一个：快鸟卫星归一化植被指数预测苦草盖度的方法
下一个：可注射高分子聚合物测量表面开口缺陷深度的装置

与 “基于红外白光干涉技术的微结构形貌测试方法” 相关技术

▪ 基于智能控制的再生铝冶炼炉
▪ 支架安装方便的太阳能光伏组件
▪ 高强度铝合金材料及其制备方法
▪ 全膜法处理光伏单晶硅片废水回用技术
▪ 含重金属的氨氮废水的处理方法
▪ 可智能调节的光伏板组件支架
▪ 多晶硅生产废水的处理回收系统
▪ 高盐含氨废水处理系统及节能运行工艺
▪ 高效冶金真空吸铝装置
▪ 真空感应熔炼炉可调节自动泄压装置

相关无损检测设备推荐

TMX412多气体检测仪
土壤水分温度测量仪
CTH1000一氧化碳测定器
土壤温湿盐监测仪器 土壤测试仪
平板金属探测仪
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪基于智能控制的再生铝冶炼炉
▪支架安装方便的太阳能光伏组件
▪高强度铝合金材料及其制备方法
▪全膜法处理光伏单晶硅片废水回用技术
▪含重金属的氨氮废水的处理方法
▪可智能调节的光伏板组件支架
▪多晶硅生产废水的处理回收系统
▪高盐含氨废水处理系统及节能运行工艺
▪高效冶金真空吸铝装置
▪真空感应熔炼炉可调节自动泄压装置

报名参会
更多+

2024国际新型功能材料与器件会议
2024国际新型功能材料与器件会议
2024年12月06日 ~ 08日
2024磷资源高值利用创新发展论坛暨第二届磷酸锰铁锂技术交流会
2024磷资源高值利用创新发展论坛暨第二届磷酸锰铁锂技术交流会
2024年12月13日 ~ 15日
2024中国高纯石英资源开发利用大会
2024中国高纯石英资源开发利用大会
2024年12月13日 ~ 15日
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025年01月03日 ~ 05日
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
2025年03月25日 ~ 27日

报告下载

1 矿产品能力验证计划中样品的选取
下载:135
2 取、制样安全浅析
下载:121
3 取、制样现状及未来规划/需求
下载:97
4 浅谈质量检验管理风险防控的重点
下载:91
5 自动化样品制备助力准确高效的矿
下载:91
6 样品变质引起采制样和结算问题
下载:89
7 矿产品人工取样方案的制定及案例
下载:86
8 不均匀样品给第三方检测机构和贸
下载:83
9 用于X荧光分析的样品前处理及其
下载:83
10 制样室装修设计技巧
下载:81
2024退役新能源器件循环利用技术交流会
推广

热门技术
更多+

1防爆阀保护膜
2压力平衡机构
3水电站的尾水预埋件
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记