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测量光学薄膜等效折射率及物理厚度的设备和方法

747   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:27
本发明书提供了一种通过测量多个角度反射谱 来同时获得薄膜等效折射率和厚度的设备和方法。该设备简 单，测量方便。该方法是根据入射光在空气－薄膜－衬底的界 面处两次反射会发生干涉，其干涉现象会从反射谱上表现出 来。因此只要测得两个不同入射角θ1和θ2含有干涉信息的反射谱R(θ1，ω)和R(θ2，ω)，采用薄膜反射率公式同时拟合这两个反射谱，得到相应的光程差Δ1和Δ2，根据折射定律，联立两个方程就可以得出薄膜的等效折射率n及物理厚度d。与传统方法不同的是该方法可以同时、方便、无损地测出薄膜的等效折射率和厚度，甚至可以用于镀膜过程的实时监控与在线检测。
声明：
“测量光学薄膜等效折射率及物理厚度的设备和方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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