本申请公开了一种透射式平面闪耀光栅槽形角的测量方法,包括如下步骤:使线光源发出的平行光束沿光栅面法线方向入射闪耀光栅,记录此时闪耀光栅的基准线与零位之间的初始角度K1,以及所述线光源的光能量值;保持光源不动,沿所述闪耀光栅的中心轴旋转所述闪耀光栅,并持续检测从所述闪耀光栅的刻痕小平面出射的衍射光能量值,当所述闪耀光栅每转过1°的两个T值之间差值的绝对值≧5%时,记录终止角度K2;据如下公式计算所述闪耀光栅槽形角θ:
其中,n为所述闪耀光栅基片材料的折射率,k=K2‑K1。本申请所述的槽形角的测量方法测量光路简单,实验要求低,且无需切片,对待测的闪耀光栅是无损的。
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