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离轴非球面镜光轴与安装面夹角的光学测量系统及方法

800   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:27
本发明提供了一种离轴非球面镜光轴与安装面夹角的光学测量系统及方法，包括干涉仪、平行平晶、补偿器和离轴非球面组件；干涉仪提供光源并检测非球面面形误差；干涉仪发射的光束依次透过平行平晶、补偿器到达离轴非球面组件进行反射，所述离轴非球面组件反射出的光线依次透过补偿器、平行平晶进入干涉仪内部的探测器，进入所述干涉仪内部的光线与干涉仪内部的参考光进行干涉，形成干涉条纹，并计算得出非球面面形误差。本发明可以快速、无损且精确的测量和计算出离轴非球面镜光轴与支撑结构安装面之间的夹角。本发明利用目前的精密仪器设备和光学元件，对光学镜面无损伤、检测精度高、耗时短，是一种快速高精度无损检测技术。
声明：
“离轴非球面镜光轴与安装面夹角的光学测量系统及方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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