本发明公开一种基于空气耦合超声的薄膜面密度测量方法及测量系统,其中方法包括测量激励信号在空气中传播得到的第一衰减信号的能量;测量所述激励信号经过多层介质薄膜后得到的第二衰减信号的能量,多层介质薄膜位于空气耦合超声换能器的信号发射换能器和信号接收换能器之间;根据第一衰减信号和第二衰减信号的能量差异,计算多层介质薄膜的测量位置聚焦点处的面密度值;变换空气耦合超声换能器的位置,重复执行上述步骤,得到多层介质薄膜不同测量位置聚焦点处的面密度值,通过取平均值得到多层介质薄膜的面密度。利用本发明基于空气耦合超声手段测量多层弹性介质薄膜面密度,有利于实现涂炭铝箔表面碳层涂覆质量的无损、快速评价,提高制备质量和制备效率。
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