一种钽酸锂、铌酸锂晶片电阻率测试装置,包括第一透明板、第二透明板、第一柔性环形圈、第二柔性环形圈,第一柔性环形圈设置在第一透明板的内侧侧壁上,第二柔性环形圈设置在第二透明板的内侧侧壁上,还在第一透明板的内部设置第一测试液注入通道和第一排气通道,还在第二透明板的内部设置第二测试液注入通道和第二排气通道,本发明中通过将待测晶片进入电解液的方式引出待测晶片的两极,这种方式对测试后晶片无损伤、无影响,冲洗后仍然可以作为成品使用;通过第一柔性环形圈、第二柔性环形圈限定晶片的测试面积,对晶片表面无划伤、无破坏;通过从电解液中插入电极的方式引出晶片的两极,电阻无损耗,测试精度高。
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