本发明涉及一种量测图形化衬底图形的方法,主要用于测试在平滑衬底上进行规则图形化后图形尺寸的量测;方法中利用扫描电子显微镜(SEM)作为测试工具,但测试过程没有按照普通裂片的制样方式进行,而是将整片无损伤地进行测试;测试中将样品进行一定角度倾斜,量测倾斜后的成像尺寸,经过一定运算可以得到所测样品实际图形尺寸。本发明介绍的方法给出了SEM在高度测试中新的形式,开启了图形化衬底图形尺寸的无损伤测试模式,既节约了成本又简化了测试中制样的流程。
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