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量测图案化衬底的量测方法

1076   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:26
本发明涉及一种量测图形化衬底图形的方法，主要用于测试在平滑衬底上进行规则图形化后图形尺寸的量测；方法中利用扫描电子显微镜（SEM）作为测试工具，但测试过程没有按照普通裂片的制样方式进行，而是将整片无损伤地进行测试；测试中将样品进行一定角度倾斜，量测倾斜后的成像尺寸，经过一定运算可以得到所测样品实际图形尺寸。本发明介绍的方法给出了SEM在高度测试中新的形式，开启了图形化衬底图形尺寸的无损伤测试模式，既节约了成本又简化了测试中制样的流程。
声明：
“量测图案化衬底的量测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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