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面内位移和离面位移同时测量的激光散斑测量装置

725   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:24
一种面内位移和离面位移同时测量的激光散斑测量装置。主要由连续波激光器、准直扩束器、偏振分束器Ⅰ、偏振分束器Ⅱ、偏振分束器Ⅲ、偏振分束器Ⅳ、反射镜Ⅰ、反射镜Ⅱ、反射镜Ⅲ、会聚透镜、CCD相机Ⅰ、CCD相机Ⅱ和计算机构成，本实用新型能一次布置光路，同时实现被测物体形变的面内位移和离面位移分布信息的测量，测量精度能达到亚波长量级；并且具有简单易行、快速、准确的特点。可广泛应用于光电无损检测等领域的微小位移的实时、高精度可靠测量。
声明：
“面内位移和离面位移同时测量的激光散斑测量装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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