本发明属于显微光谱成像探测技术领域,涉及一种反射式共焦CARS显微光谱测试方法及装置。本发明的核心思想是融合激光共焦显微技术与CARS光谱探测技术,采用二向分光系统对瑞利光和CARS光进行无损分离,其中CARS光进行光谱探测,瑞利光进行几何定位。本发明利用共焦曲线顶点与焦点位置精确对应这一特性,精确捕获和定位激发光斑焦点位置,实现高精度的几何探测和高空间分辨的光谱探测,构成一种可实现样品微区高空间分辨光谱探测的方法和装置。通过结合CARS显微技术,激发出的载有样品信息的拉曼散射光要远强于传统自发拉曼光,且激发时间短,为快速检测生物样品和化学材料提供可能。本发明具有定位准确、高空间分辨、光谱探测灵敏度高和测量聚焦光斑尺寸可控等优点,在生物医学,材料检测等领域有广泛的应用前景。
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