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镜头中光学表面中心间距的非接触式测量方法及测量装置

880   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:23
本发明涉及一种镜头中光学表面中心间距的非接触式测量方法及测量装置，本发明将宽带光源出射的光通过干涉结构产生干涉信号，对干涉信号进行采样、图像重构即可得到镜头中光学表面的二维层析图像，在样品臂中使用细平行光束作为扫描光束，通过移动光纤准直器来改变相干层析成像的起始位置，进而得到镜头中不同深度各个光学表面的特征图像，最后根据光学表面在其特征图像中的位置和成像起始位置的移动距离得到两光学表面中心的距离。本发明具有非接触无损测量、测量精度高、数据处理简单的优点，可灵活应用于光学加工、光学装校及光学检测等领域。
声明：
“镜头中光学表面中心间距的非接触式测量方法及测量装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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