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石英玻璃亚表面损伤深度样件制作及检测方法

820   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:22
本发明涉及一种石英玻璃亚表面损伤深度样件制作及检测方法,步骤为:1、对样件上表面进行超精密磨削加工,清洗加工后的样件;2、将清洗烘干后的单面抛光硅片的抛光面与样件加工面均匀粘接,待胶层固化后,进行横纵方向的分切,分成多个小样件;3、取一块形状方正的小样件,仅一个侧面外露的方式包固在外套件内;4、固定住外套件,对样件外露侧面进行无损渐进式抛光,抛光后清洗、烘干;5、将样件放入氢氟酸腐蚀溶液中腐蚀,并进行清洗烘干;6、利用离子溅射仪对抛光腐蚀后的侧面喷金处理,形成导电层;7、通过扫描电子显微镜观察样件截面并拍摄截面图像,通过图像数据处理软件测得材料亚表面损伤深度。本方法可获取样件表面损伤深度信息。
声明:
“石英玻璃亚表面损伤深度样件制作及检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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