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检测纳米材料的长周期图案种类的方法

957   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:22
本发明提供一种检测纳米材料的长周期图案(LPP)种类的方法，包括如下步骤：(1)将纳米材料制作成扫描透射电子显微镜样品，放在带球差校正的扫描透射电子显微镜中；(2)找到LPP区域，带球差校正的扫描透射电子显微镜调至正常的成像模式，在一个欠焦量下获得HAADF像；(3)通过多次改变带球差校正的扫描透射电子显微镜的欠焦量，获得一系列欠焦量不同的像；(4)分析系列欠焦像，比较每一帧结构的变化。本发明解决了用常规方法难以判断纳米材料的LPP种类的问题，为下一步电学、力学和光学等物理性质以及化学性质的研究打好前提。另外，本发明采用的断层成像法在原位、快速、无损表征材料或器件结构方面有独到的优势。
声明：
“检测纳米材料的长周期图案种类的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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