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基于光纤光谱仪的光学薄膜厚度检测装置

1020   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:22
本实用新型公开了一种基于光纤光谱仪的光学薄膜厚度检测装置。光学平台上一侧从上到下顺次设有第一支撑柱、第一固定块，光学平台上另一侧从上到下顺次设有第二支撑柱、第二固定块，第一支撑柱、第二支撑柱上端固定有支撑横梁，支撑横梁下端设有Z向移动轨道，在Z向移动轨道上设有L型固定块，在L型固定块上设有光纤光谱仪探头横梁，在光纤光谱仪探头横梁上设有光纤光谱仪探头，在光纤光谱仪探头右侧设有光学显微镜，光学平台上从下到上顺次设有X、Y步进电控平移台、样品台、待测样品。本实用新型可以实时在线无损地获得光学薄膜样品不同位置的厚度信息。
声明：
“基于光纤光谱仪的光学薄膜厚度检测装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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