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硅片微裂纹检测系统

870   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:22
本实用新型公开了一种硅片微裂纹检测系统，包括激光控制器、转动镜控制器、激光源、反射镜、转动镜、成像透镜、线阵电荷耦合元件、推扫驱动装置、计算机和载物台，特点是激光源、反射镜、转动镜、成像透镜、线阵电荷耦合元件依次成光路连接；线阵电荷耦合元件的输出信号电缆连接计算机；计算机连接激光控制器、转动镜控制器和推扫驱动装置；推扫驱动装置的步进电机通过滚珠丝杠连接载物台；被测硅片置于载物台上。本实用新型通过转动镜和推扫装置的配合，实现对硅片的无接触、无损伤地激光扫描，通过对获取的红外辐射图像数据的智能处理和分析，即可以判断硅片的完好性。
声明：
“硅片微裂纹检测系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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