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基于光纤光谱仪的光学薄膜厚度检测装置及方法

684   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:22
本发明公开了一种基于光纤光谱仪的光学薄膜厚度检测装置及方法。光学平台上一侧从上到下顺次设有第一支撑柱、第一固定块，光学平台上另一侧从上到下顺次设有第二支撑柱、第二固定块，第一支撑柱、第二支撑柱上端固定有支撑横梁，支撑横梁下端设有Z向移动轨道，在Z向移动轨道上设有L型固定块，在L型固定块上设有光纤光谱仪探头横梁，在光纤光谱仪探头横梁上设有光纤光谱仪探头，在光纤光谱仪探头右侧设有光学显微镜，光学平台上从下到上顺次设有X、Y步进电控平移台、样品台、待测样品。本发明可以实时在线无损地获得光学薄膜样品不同位置的厚度信息。
声明：
“基于光纤光谱仪的光学薄膜厚度检测装置及方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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