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SOI晶圆质量检测方法及系统

645   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:20
本发明提供了一种SOI晶圆质量检测方法及系统，检测方法包括如下步骤：提供SOI晶圆，SOI晶圆包括衬底层、埋氧层和半导体层；放置第一压力探针和第二压力探针；将第一压力探针接地，对第二压力探针施加恒定的第一电压，对衬底层施加变化的第二电压；根据不同第二电压及所对应的第一电流数据提取测试表面迁移率，并与理论表面迁移率进行比对，以评估SOI晶圆的质量。本发明针对SOI晶圆质量的快速评估需求，通过对测试结构进行电流电压测试，提取表面迁移率，与理论值进行比对，揭示了能够表征SOI晶圆质量的电学特性，实现了对SOI晶圆质量的无损评估，对于太阳能电池SOI晶圆的工艺开发具有重要意义。
声明：
“SOI晶圆质量检测方法及系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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