本发明属于一种检测分析方法,具体涉及一种针对高功率半导体激光器及阵列激光器的质量和可靠性进行检测和筛选的方法。首先测出激光器V-I和P-I曲线,经计算机处理得到电导数曲线IdV/dI~I和光导数曲线dP/dI~I、d2P/dI2~I,然后从光导数曲线d2P/dI2~I或电导数曲线IdV/dI~I得到被测器件的阈值电流Ith,从而得到b、m、Rs1、Rs2、h各参数,再由二阶光导数曲线阈值处的峰高H,峰宽W,峰高峰宽之比Q给出激光器激射时的光特征;最后将所得的各参数与同种结构的器件参数的正常值相比较,从而判定所检测的高功率半导体激光器或阵列激光器的质量和可靠性。本发明方法对器件的筛选具有无损快速简便的特点,适合于广泛使用。
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