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针对大口径深矢高的光学自由曲面检测方法及装置

689   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:16
一种大口径深矢高的自由曲面检测方法及装置，属于光学测量技术领域，为了解决现有技术对非对称大尺寸光学自由曲面的非接触无损检测方法存在的问题，该方法是通过设计时被测自由曲面的公式与STL模型结合，将被测自由曲面用一系列三角面片离散地近似构成三维区域曲面；然后根据曲率划分区域，再通过已知的被测自由曲面公式对各个区域进行计算，绘图得到八位灰度图，再对ZYGO干涉仪的光束进行编码，编码方式与绘制八位灰度方式相对应；通过对ZYGO干涉仪的光束编码后可使液晶空间光调制器对其相应的区域进行测量；本发明检测效率高、成本低、并且具有体积小、精度高、便于控制等优点；该方法将在大型的光学系统检测中具有广泛的应用前景。
声明：
“针对大口径深矢高的光学自由曲面检测方法及装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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