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高效检测大面积微细电子器件的方法

730   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:16
本发明属于电子器件检测技术领域，公开了一种高效检测大面积微细电子器件的方法。通过光源控制模块A产生特定频率的光束，通过分光干涉光学模块B分为等频率等相位的相干光，一束通过被测电子器件表面反射，另一束通过反射镜反射，使两束反射光产生干涉，测试过程被测电子器件通过样品控制模块C进行测试条件的控制，通过数据采集分析模块D接收产生的干涉图样，并利用计算机软件进行分析。本发明的方法可以对大面积电子器件的表面及界面处微小形变进行的非接触式测量，具有高精度、全场、实时、无损检测等优点。
声明：
“高效检测大面积微细电子器件的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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