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基于X射线的LED芯片缺陷自动检测设备及方法

770   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:14
本发明公开了一种基于X射线的LED芯片缺陷自动检测设备,其具有X射线检测主体及屏蔽壳体;其中,X射线检测主体具有:X射线源,其产生的X射线照射置于载物台上的待检芯片;探测器,其探测穿过待检芯片的X射线;芯片夹具,其以可脱离的形式定位于载物台上,芯片夹具设有若干个芯片槽;运动平台,其被配置为实现载物台在X、Y和Z三方向上的运动;以及控制系统,其被配置为实时获取运动平台的位置坐标,并按一定路径驱动运动平台。本发明还提供了一种基于X射线的LED芯片缺陷自动检测方法。本发明可将隐藏的芯片内部的缺陷呈现在图像当中,并通过对缺陷部分的自动识别和提取,实现LED芯片的快速、无损和自动化批量检测。
声明:
“基于X射线的LED芯片缺陷自动检测设备及方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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