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硬脆光学材料的低亚表面损伤检测方法

856   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:12
本发明涉及一种硬脆光学材料的低亚表面损伤检测方法，该方法通过测试仪器准备、样品表面损伤的检测来获得待测样品的布儒斯特角，并进一步利用该布儒斯特角表征样品的表界面粗糙度。其中，测试仪器包括刻度盘、载物台、激光器、第一偏振片、光强度计及第二偏振片，结构简单、成本低，利用线偏振光准确地测出了入射到样品上的光线的布儒斯特角大小，并以此表征样品的表界面粗糙度，可将测量偏差保持在1/100以内，检测结果准确率高，且检测方法简单、快速，对待检测样品的表面无损伤；同时，本发明的方法还可以用于测量光学元件其他的微表面结构，并能达到纳米量级的表面微结构的检测，为制备出高质量的高损伤阈值薄膜提供了条件。
声明：
“硬脆光学材料的低亚表面损伤检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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