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利用电容变化检测刻蚀侧壁粗糙的方法

1207   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:58:12
本发明公开了一种利用电容变化检测刻蚀侧壁粗糙的方法,仅在功能区域进行刻蚀工艺前添加上述工艺流程,避免增加功能器件设计的复杂;利用检测区域电容变化反应功能区域侧壁粗糙,减小了小尺寸带来的误差,同时避免裂断面等对器件结构有损害的操作,实现对刻蚀结构的无损检测;检测区域数目由功能区域刻蚀窗口大小种类决定,实现了更加精准地检测不同条件下的刻蚀侧壁粗糙目的,同时实现对不同刻蚀条件下侧壁粗糙的一步检测。本发明设计的工艺流程简单,各工序均为成熟技术,工艺难度较低,实现简便,易于操作。
声明:
“利用电容变化检测刻蚀侧壁粗糙的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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