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大口径光学元件光学特性的快速检测方法及装置

867   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:12
本发明公开了一种大口径光学元件光学特性的快速检测方法及装置，首先将泵浦光束照射到被测样品表面上的测量点1，由测量点1反射出来的泵浦光经能量回收反射镜后再次照射到样品表面上的测量点2，以此类推，泵浦光经能量回收反射镜后多次与被测样品表面相互作用，在被测样品表面的测量点1到测量点N都引起了局部材料特性变化。这N个测量点的局部材料特性变化由探测光束进行并行探测。本发明利用泵浦光能量回收反射镜对被测样品反射出来的激光能量进行回收重复利用从而大幅度提高大口径光学元件光学特性检测速度，该方法和装置可以用于光热无损检测、光热精密测量、光学吸收光谱、光热成像与缺陷分析等多个领域，特别适用于对大口径激光反射镜微弱吸收特性的快速检测与成像。
声明：
“大口径光学元件光学特性的快速检测方法及装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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