本实用新型公开了一种半导体检测设备,包括支撑架和横轴,所述横轴设置在支撑架的下面,所述横轴上设有万向轮,所述支撑架中心处设有SQUID检测系统,所述SQUID检测系统包括检测外壳、SQUID探头和聚焦透镜,所述SQUID探头设置在检测外壳下面,所述聚焦透镜设置在SQUID探头下面,所述检测外壳内侧顶端设有传感器,所述检测外壳一侧设有光电管,所述检测外壳另一侧设有机械手,所述支撑架左侧固定有SQUID控制器,所述SQUID检测系统下面设有防震检测台,所述防震检测台下面设有旋转台,所述旋转台与支撑架转动连接。该实用新型,实现了无损检测,检测的精度较高,具有良好的分辨率,在半导体结构分析和光电器件性能检测等方面,具有很好的应用前景。
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