本发明公开了一种基于脉冲涡流的多层导电结构缺陷检测装置及其方法。半桥驱动电路分别与PC机、51单片机系统、激励信号放大模块、稳压电路、差分霍尔检测探头相连,稳压电路分别与激励信号放大模块、信号调理采集模块相连,信号调理采集模块与PC机相连,GT400运动控制器上设有待测多层导电结构,待测多层导电结构上方设有差分霍尔检测探头并用固定机构固定,PC机与GT400运动控制器相连,差分霍尔检测探头与信号调理采集模块相连。本发明采用差分霍尔检测探头进行无损检测,不需要任何耦合介质,检测速度快,生产效率、检测灵敏度、可靠性高。利用PC机组态软件可监控装置工作情况。
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