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膜片式压电驱动器缺陷检测方法

1088   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:11
本发明属于压电驱动器缺陷检测技术，涉及一种激光陀螺用压电驱动器的缺陷检测方法。本发明属于膜片式压电驱动器检测方法，通过测试膜片式压电驱动器的幅频特性曲线，即通过压电元件内部缺陷、压电陶瓷片与连接基体的连接的缺陷对压电元件的振动模式的影响，从而定性检测压电片的内部缺陷、压电陶瓷片与连接基体的连续性缺陷检测。依靠本方法，可实现检测压电元件的内部缺陷和压电驱动器连接层的连续性缺陷检测，且操作简单，易行，实现了无损检测。相对传统检测方式，可直接检测产品缺陷和连接层缺陷，有检测效率高、检测精度高、检测成本低的优点。
声明：
“膜片式压电驱动器缺陷检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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