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材料缺陷检测方法、装置、电子设备及计算机存储介质

1082   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:09
本申请涉及半导体技术领域，提供一种材料缺陷检测方法、装置、电子设备及计算机存储介质。包括：基于检测请求发射脉冲激光光束，并将所述脉冲激光光束调节为准直光束；对所述准直光束进行聚焦，使聚焦形成的激光光斑辐射至待检测半导体材料；接收所述待检测半导体材料受所述激光光斑激发产生的机械波，基于所述机械波进行缺陷检测，得到所述待检测半导体材料的缺陷检测结果。本申请由于脉冲激光光束不会对待检测半导体材料产生损害，可以实现待检测半导体材料的无损缺陷检测；同时，基于机械波进行待检测半导体材料的缺陷检测，可以得到精准的缺陷检测结果。因此，可以提高对半导体材料进行缺陷检测的缺陷检测技术的实用性。
声明：
“材料缺陷检测方法、装置、电子设备及计算机存储介质” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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