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计量级3D超景深显微系统及检测方法

1003   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:58:08
本发明公开了一种计量级3D超景深显微系统及检测方法,涉及光电无损3D检测技术领域;该显微系统包括光学显微镜、光谱共焦传感器或白光干涉传感器、xyz轴电动位移平台以及控制模块和PC处理器;xyz轴电动位移平台包括xy轴平移台和z轴升降模块,光学显微镜配置有照明光源和图像采集单元,控制模块包括xyz电动控制单元、与光谱共焦传感器或白光干涉传感器连接的处理器及电源模块,图像采集单元用于采集目标检测区域的图像信息,并将图像信息传输至PC处理器;通过实施本技术方案,能够无损观察样品,并能够超大面积对材料表面的微观状态进行拍照、3D真彩色成像及3D精准测量,实现计量级的检测精度,并保有微观样品的细节与真实颜色,具有很好的应用前景。
声明:
“计量级3D超景深显微系统及检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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