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位相型朗奇光栅槽深的光学检测方法

1055   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:07
本发明位相型朗奇(Ronchi)光栅槽深的光学检测方法。解决了对于周期远大于其工作波长的位相型朗奇光栅槽深的精确检测。本发明包括：1.利用光谱仪记录工作光源的初始光谱曲线Is(λ)；2.工作光源的出射光正入射至位相型朗奇光栅表面；3.利用光谱仪记录位相型朗奇光栅对工作光源的零级透射光的光谱曲线Ig(λ)；4.计算位相型朗奇光栅的零级光谱透射率；5.根据光栅零级光谱透射率η(λ)确定位相型朗奇光栅零级光谱透射率极小值ηmin对应的波长λmin；6.最后计算出位相型朗奇光栅的槽深。本发明方法适用于周期远大于其工作波长的位相型朗奇光栅槽深检测，其检测原理简单可靠，所需设备少，检测成本较低，而且能够快速、灵敏地实现朗奇光栅槽深的无损检测。
声明：
“位相型朗奇光栅槽深的光学检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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