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大高宽比微结构的光学检测方法

862   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:07
本发明公开了一种大高宽比微结构的光学检测方法，通过观察不同微结构对入射光的不同反射情况，无损检测微结构的侧壁形貌，快速地判断大高宽比微结构是否发生倾斜、扭曲。本发明可以对光刻胶和金属微结构的侧壁形貌进行无损检测，也可以对光刻胶与金属共存的微结构侧壁形貌进行无损检测。本发明中采集的是高衬度的图像，结合样品工作台的快速扫描，可以实现对大尺寸样品的快速检测。本发明可以对工艺过程中的样品进行检测，能够实现样品的原位工况检测。本发明中侧壁倾角检测精度与选择的物镜相关，物镜的放大倍数越高可以提供越高的侧壁倾角检测精度，通常的，可以实现0.1°的侧壁倾角检测精度。
声明：
“大高宽比微结构的光学检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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