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光学元件亚表面缺陷的多通道原位检测装置及检测方法

1119   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:06
一种光学元件亚表面缺陷的多通道原位检测装置及检测方法，用于玻璃等光学元件缺陷测试。该装置包括由荧光共聚焦成像系统、荧光寿命成像系统、光热吸收成像系统三个通道构成，可一次性实现光学元件亚表面微纳缺陷几何形态、光致荧光、光热吸收特性的原位测试。本发明具有装置结构紧凑、检测通用性强、稳定性高的特点，适用于亚表面缺陷的高灵敏度无损检测。
声明：
“光学元件亚表面缺陷的多通道原位检测装置及检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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