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用于SCM截面样品无损定位的方法及系统

730   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:03
本申请公开了一种用于SCM截面样品无损定位的方法,包括:标记待测样品,并根据所述标记确定待测截面位置;用透明封装材料封装所述待测样品;去除部分所述待测样品及部分所述透明封装,并露出所述待测截面;当所述待测截面为目标待测截面时,确定待测点;在与所述待测点位于同一平面的所述封装上设定坐标原点,并确定所述待测原点与所述坐标原点之间的相对位置坐标;根据所述相对位置坐标在扫描电容显微镜样品台上测试所述待测点。本申请专利提出的方法降低了样品的制备难度,保护了样品的完整性,提高了定位的准确度。本申请方法具有操作简单、适用范围广、测试结果准确的优点。
声明:
“用于SCM截面样品无损定位的方法及系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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