合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 无损检测技术

> 基于液相抛光环境调控的单晶硅无损抛光方法

基于液相抛光环境调控的单晶硅无损抛光方法

679   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:03
本发明公开了一种基于液相抛光环境调控的单晶硅无损抛光方法，实施步骤包括：将单晶硅工件完全淹没放置在容器中的抛光液中并进行CCOS抛光加工，且在加工过程中检测并控制抛光液pH值；将单晶硅工件清洗去除大尺寸颗粒残留；采用离子束刻蚀工艺去除单晶硅工件表面的微小颗粒残留。本发明能够避免现有的单晶硅加工方法中引入大粒径污染、造成工件表面产生划痕的问题，加工出的工件表面污染低于检出限，具有可操作性强、原料来源广泛、工艺流程简单的优点。
声明：
“基于液相抛光环境调控的单晶硅无损抛光方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
无损检测
上一个：用于电子零器件的无损探伤仪器
下一个：基于边缘无损压缩的深度图编码方法

与 “基于液相抛光环境调控的单晶硅无损抛光方法” 相关技术

▪ 含铜废镁砖资源化利用的方法
▪ 燃气式节能冶金坩埚炉
▪ 基于冶金固废的矿井填充材料及其制备方法
▪ 冶金渣回收装置及其方法
▪ 冶金高温固体废渣余热回收系统
▪ 铅酸蓄电池酸液废气回收处理设备及方法
▪ 活性炭废气吸附箱
▪ 从酸性废水中回收氨制取氢气的工艺流程
▪ 微生物电催化碳捕集膜及其制备方法与应用
▪ 高效除氟材料及其制备方法

相关无损检测设备推荐

密封锤式破碎机
土壤养分检测仪器 土壤测试仪
土壤酸度自动记录仪
土壤腐蚀速度测量仪
德国斯派克SPECTROMAXx台式直读光谱仪
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪含铜废镁砖资源化利用的方法
▪燃气式节能冶金坩埚炉
▪基于冶金固废的矿井填充材料及其制备方法
▪冶金渣回收装置及其方法
▪冶金高温固体废渣余热回收系统
▪铅酸蓄电池酸液废气回收处理设备及方法
▪活性炭废气吸附箱
▪从酸性废水中回收氨制取氢气的工艺流程
▪微生物电催化碳捕集膜及其制备方法与应用
▪高效除氟材料及其制备方法

报名参会
更多+

第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
2025年03月25日 ~ 27日
2025非金属矿物加工利用科技创新大会
2025非金属矿物加工利用科技创新大会
2025年03月28日 ~ 30日
2025中国结构材料大会暨第十一届全国有色金属结构材料制备/加工及应用技术交流会
2025中国结构材料大会暨第十一届全国有色金属结构材料制备/加工及应用技术交流会
2025年03月28日 ~ 30日
中国新能源材料与器件第七届学术会议
中国新能源材料与器件第七届学术会议
2025年03月28日 ~ 30日
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2025年04月27日 ~ 29日

报告下载

1 矿产品能力验证计划中样品的选取
下载:136
2 取、制样安全浅析
下载:125
3 取、制样现状及未来规划/需求
下载:100
4 自动化样品制备助力准确高效的矿
下载:93
5 浅谈质量检验管理风险防控的重点
下载:92
6 样品变质引起采制样和结算问题
下载:90
7 矿产品人工取样方案的制定及案例
下载:87
8 用于X荧光分析的样品前处理及其
下载:86
9 不均匀样品给第三方检测机构和贸
下载:85
10 制样室装修设计技巧
下载:84
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1防爆阀保护膜
2压力平衡机构
3水电站的尾水预埋件
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记