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基于透过率光谱的快速无损获得透明薄膜厚度的方法

1065   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:02
本发明涉及一种基于透过率光谱的快速无损获得透明薄膜厚度的方法。所述方法包括如下步骤：获得透明薄膜的透过率光谱；分别连接相邻两波峰、相邻两波谷，做出光谱曲线的包络线；标记相邻两个波峰所在位置，将两个波峰的波长分别记为λ1、λ2，然后分别标记两个波峰与包络线相交处的透射率的最大值、最小值，分别记为TM1，Tm1和TM2，Tm2；分别计算λ1、λ2处的折射率n1和n2；根据两相邻波峰的折射率，按照如下公式计算透明薄膜厚度d。该方法利用透过率光谱来计算透明薄膜厚度，快速、便捷、无损伤，不影响薄膜的二次加工及后续工艺，可随时检测薄膜的成膜质量。
声明：
“基于透过率光谱的快速无损获得透明薄膜厚度的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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