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用于无损测量薄层厚度的方法和仪器

1005   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:57:59
本发明涉及一种用探针(11)和一个估计单元来无损测量薄层厚度的方法,探针(11)在一个内部铁心上带有一个第一线圈器件(24),该线圈器件的几何中心(22)和至少一个第二线圈器件(31)的几何中心重合,该至少第二线圈器件(31)部分地围绕着第一线圈器件(24);对该估计单元,在用来确定薄层厚度的测量期间发射线圈器件(24、31)的信号,该方法的特征在于提供一个电路(50),通过其在测量期间顺序激励第一和至少第二线圈器件(24、31)。
声明：
“用于无损测量薄层厚度的方法和仪器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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