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富硼层和硼硅玻璃层的快速无损椭偏测试方法

881   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:57:59
本发明提供一种富硼层和硼硅玻璃层的快速无损椭偏测试方法,具体地,所述制备方法包括:采用椭偏分析仪测试样品A,得到样品A的Ψ(A)‑λ曲线、采用椭偏分析仪测试样品B,得到样品B的Ψ(B)‑λ曲线;基于第一性原理,得到样品A富硼层主要成分的光学性质,并导出富硼层不同波段对应的折射率和吸光系数曲线、结合椭偏的数值分析,求解得到样品A富硼层的厚度、折射率和消光系数、样品A富硼层富硼层的厚度、折射率和消光系数带入样品B的Ψ(B)‑λ曲线,通过拟合分析得到样品B硼硅玻璃层的厚度、折射率和消光系数。本发明具有快速、无损、准确测量的特点。
声明:
“富硼层和硼硅玻璃层的快速无损椭偏测试方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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