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基于平移差分的微结构线宽显微无损测量方法

878   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 08:57:59
本发明公开了一种基于平移差分的微结构线宽显微无损测量方法,解决了显微成像法测量微结构线宽受限于成像衍射极限,测量精度低的问题。首先采集待测微结构的显微图像;接着将微结构沿线宽方向平移一段微小距离,再次采集待测微结构的显微图像;然后将两次采集的显微图像相减得到差分图像;再以高斯函数为目标对差分图像的光强数据进行数据拟合,以高斯函数极值点定位两侧差分脉冲的准确位置;最后根据两侧极值点的精确位置得到高精度的线宽测量结果。本发明的线宽测量方法保留显微成像法直观、快速、无损测量的优点,而且还突破了显微成像衍射极限,同时减少照明不均和成像系统噪声的影响,能够提高线宽测量精度。
声明:
“基于平移差分的微结构线宽显微无损测量方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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