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基于光栅激光超声声谱的薄膜涂层厚度无损测量方法

1018   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:57:58
本发明公开了一种基于光栅激光超声声谱的薄膜涂层厚度无损测量方法，强脉冲激光束经过光学掩模板或微阵列透镜照射到被测涂层表面形成周期分布的微小栅状激光光斑，在被测区域激发固定波长的超声表面波，由于超声表面波在多层介质中的频散特性，涂层厚度的变化会引起所激发表面波频率的变化，采用激光超声检测单元在激励位置附近接收所产生的超声表面波信号，对被接收的信号进行傅里叶变换获取其中心频率，最后根据超声表面波中心频率与涂层厚度的单调关系实现涂层厚度的无损测量。
声明：
“基于光栅激光超声声谱的薄膜涂层厚度无损测量方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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