本发明公开了一种用于太赫兹无损检测的扫描台、扫描成像装置及方法,该扫描台包括第一支架,所述第一支架上安装有X轴支撑导向机构,所述X轴支撑导向机构上设置有第一滑块,第一滑块在X轴传动机构的作用下,沿X轴支撑导向机构作直线运动;第一滑块上安装有第二支架,所述第二支架上安装有Y轴支撑导向机构,Y轴支撑导向机构上设置有第二滑块,第二滑块在Y轴传动机构的作用下,沿Y轴支撑导向机构作直线运动;X轴支撑导向机构和Y轴支撑导向机构上分别设置有第一光栅尺和第二光栅尺,第一滑块和第二滑块上分别设置有第一读数头和第二读数头。
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